掃描熱學顯微鏡驅近系統的機械設計可使得經過幾次驅近之后仍然能獲得相同的檢測區域。掃描位移大約為500nm，這個特點可以讓您在幾周內仍然能夠研究相同的樣品區域。

掃描熱學顯微鏡：本設備通過使用特殊帶熱電偶的針尖，掃描樣品時，熱電偶的溫度，通過熱信號成像放大器，通過AFM處理，同時得到熱成像圖和形貌圖?？梢缘玫蕉繙囟确植汲上駡D，和定性熱導率分布圖。針尖的設計，可以達到小于50nm的熱空間分辨率。