VIL1000激光干涉光刻機 VIL系列納米圖形系統（激光干涉光刻機）具有快速可重構光束傳輸、主動圖形穩定和精確樣品定位等強大功能。該系統可以通過使用標準2cm×2cm正方形或用戶定義形狀的圖案場進行重復曝光，在8英寸大面積上產生各種納米結構，例如1D光柵線和2D柱/孔圖案，周期從240 nm到1500 nm。